Бевза, Олег МиколайовичКузьмичєв, Анатолій Іванович2020-05-142020-05-142019Бевза, О. М. Дослідження електронної складової імпульсного магнетронного розряду / Бевза О. М., Кузьмичєв А. І. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 24, № 6(113). – С. 6–16. – Бібліогр.: 13 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33447ukмагнетронна розпилювальна системаімпульсний розрядударне збудження розрядуенергія електронівщільність енергії електронівmagnetron sputtering systempulse dischargeshock excitation of the dischargeelectron energyelectron energy densityмагнетронного распылительная системаимпульсный разрядударное возбуждение разрядаэнергия электроновплотность энергии электроновДослідження електронної складової імпульсного магнетронного розрядуThe Research of Pulsed Magnetron Discharge Electronic ComponentИсследование электронной составляющей импульсного магнетронного разрядаArticleС. 6-16https://doi.org/10.20535/2523-4455.2019.24.6.19717162-93, 533.9