Скоробогатов, С. Ю.2025-04-232025-04-232022Скоробогатов, С. Ю. Кремній – основа для створення сучасних інтегральних мікросхем / Скоробогатов С. Ю. // XX Міжнародна молодіжна науково-практична конференція «Історія розвитку науки, техніки та освіти» за темою «Всесвіт і людина: від класичних до сучасних уявлень» (21 квітня 2022 р., м. Київ) : збірник праць. – Київ, 2022. – С. 107-109. – Бібліогр.: 4 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/73539ukArticleС. 107-109