Salenko, O.Gabuzyan, G.Myronov, Y.Nikitin, V.Саленко, А. Ф.Габузян, Г. В.Миронов, Я. В.Никитин, В. А.2015-11-022015-11-022013About some results of processing SiC-microarrays by hydroabrasive precision jet / Salenko O., Gabuzyan G., Myronov Y., Nikitin V. // Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування : збірник наукових праць. – 2013. – № 67. – С. 174–179. – Бібліогр.: 6 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/13521enSiC-microarrayshydro abrasive jettingcutting qualityабразивноструминне перфоруванняріжуча якістьабразивноструйное перфорированиережущее качествоAbout some results of processing SiC-microarrays by hydroabrasive precision jetО некоторых результатах обработки SiC-микрочипов прецизионной гидроабразивной струейArticleС. 174-179621.10.515