Юшко, А. В.Зенкін, М. А.Yushko, A. V.Zenkin, M. A.2013-11-162013-11-162010Юшко А. В. Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом / А. В. Юшко, М. А. Зенкін // Технологія і техніка друкарства : збірник наукових праць. – 2010. – Вип. 4(30). – С. 88–91. – Бібліогр.: 3 назви.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/5707ukКонтроль товщини тонких плівок еліпсометричним методомControl the thickness of thin films by ellipsometrical methodКонтроль толщины тонких пленок элипсометрическим методомArticleС. 88-91621.326.7