Верцанова, Олена ВікторівнаХаврусь, Дмитро Сергійович2025-07-232025-07-232025Хаврусь, Д. С. Електронно-променева літографія на базі сканувального електронного мікроскопа : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Хаврусь Дмитро Сергійович. – Київ, 2025. – 80 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/75187Об'єктом дослідження є процес формування мікро- та наноструктур за допомогою електронно-променевої літографії у сканувальному електронному мікроскопі. Предметом дослідження є технологічні параметри, режими експонування та особливості взаємодії електронного променя з матеріалами електронного резисту, які впливають на якість і точність виготовлення прототипів електронних компонентів. Метою роботи є дослідження можливостей і розробка підходів до застосування високоточної електронно-променевої літографії на базі сканувального електронного мікроскопа для виготовлення прототипів електронних компонентів із нанометровою точністю. У першому розділі представлено огляд літератури щодо високоточної електронно-променевої літографії на базі сканувального електронного мікроскопа. У другому розділі розглянуто класифікацію методів та етапи виробництва електронних компонентів. У третьому розділі досліджено застосування методу електронно-променевої літографії для створення експериментальних зразків та прототипування у лабораторних умовах. У четвертому розділі представлено переваги та обмеження електронно-променевої літографії на базі сканувального електронного мікроскопа.80 с.ukЕлектронно-променева літографіясканувальний електронний мікроскопрезистелектронний пучокElectron beam lithographyscanning electron microscoperesistelectron beamBachelor Thesis