Котенко, Ігор ЄвгеновичОлексієнко, Денис Русланович2019-09-112019-09-112019Олексієнко, Д. Р. Термічна стабільність фазового складу та електрофізичні властивості вакуумно-конденсованих шарів Cu/Cr/Ni : дипломна робота ... бакалавра : 6.050403 Інженерне матеріалознавство / Олексієнко Денис Русланович. – Київ, 2019. – 73 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/29188Об’єкт дослідження – фазові перетворення та електрофізичні властивості вакуумно-конденсованих шарів Cu/Cr/Ni при відпалі. Мета роботи – дослідження особливостей фазового складу структури наношарової композиції Cu/Cr/Ni до та після відпалу у вакуумі. Методи дослідження – термічне випаровування, метод інтерференції, електронографія, резистометрія, вторинно-іонна мас-спектрометрія. Дослідження фазових перетворень в шарах нанометрових діапазонів є актуальною проблемою для вирішення поставлених задач матеріалознавства, а саме – покращення робочих характеристик мікроприладів та покращення температурно-часового інтервалу їх роботи. Було проведено дослідження фазових перетворень тришарової системи Cu/Cr/Ni при різних температурах у вакуумі та показано, що ця тонкоплівкова система проявляє високу стабільність структури та фазового складу у температурному режимі 20 °C – 600 °C і може бути застосована у якості контактів в мікроелектронних приладах та комутаційних апаратів, що працюють у високонапружених мережах.ukнанорозмірні шаримасоперенесенняповерхнева сеґреґаціярадіаційні дефектитонкоплівкова системафазовий складвакуумне осадженняелектронографіяелектронна мікроскопіяCu/Cr/Niрезистометріяnano-dimensional layersmass-transmissionsurface segregationradiation defectsnanometer systemphase compositionvacuum precipitationelectronographyelectronic microscopyresistometryBachelor Thesis73 с.