Зелінський, Дмитро ВолодимировичСемікіна, Тетяна Вікторівна2020-12-012020-12-012019-04-04Зелінський, Д. В. Аналіз технології отримання вуглецевих плівок / Зелінський Д. В., Семікіна Т. В. // Перспективні напрямки сучасної електроніки : матеріали XІІІ науково-практичної конференції (4 квітня 2019 р., м. Київ) / КПІ ім. Ігоря Сікорського, ФЕЛ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – С. 112-120. – Бібліогр.: 4 назви.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/37772ukалмазоподібні вуглецеві плівкимагнетронне розпиленнялазерне розпиленнягазотранспортні реакціїCVDArticleС. 112-120621