Анякін, МиколаМакарчук, Єгор Анатолійович2023-05-092023-05-092020Макарчук, Є. А. Устаткування для лазерного нанесення багатофункціональних шарів на надтонкі матеріали / Макарчук Єгор Анатолійович : магістерська дис. : 131 Прикладна механіка. – Київ, 2020. – 92 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/55412Тонкі плівки використовуються в багатьох випадках, у вигляді активних компонентів (мікросхем, фотоелектричних елементів і т.д.), але вони також дуже прості і корисні модельні системи для вивчення фундаментальних властивостей матеріалів та їх функціональності. Ось чому ми вирішили дослідити плівки із кремнію, діоксиду кремнію і карбіду кремнію. Отримані результати можуть бути використані для подальшого розвитку техніки, а також в 3D друці, де інформація щодо властивостей матеріалув при лазерному спіканні є дуже важливою для отрмання стабільних, надійних та відтворюваних результатів.92 с.uklaser depositionлазерне нанесення покриттівMaster Thesis621