Мачулянський, Олександр ВікторовичБойкиня, Артур Олексійович2021-06-142021-06-142021Бойкиня, А. О. Термофізичні сенсори газу : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Бойкиня Артур Олексійович. – Київ, 2021. – 80 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/41507Дипломна робота виконана на 80 сторінках, вони містять 4 розділи, 29 ілюстрацій та 12 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є МЕМС сенсори потоку і густини газу. Предметом дослідження є усунення вже недоліків вже існуючих схожих систем, збільшення точності виміру і діапазону вимірюваних тисків газу і безпечне функціонування системи в критичних умовах. Метою роботи є досягнення ефективного функціонування сенсору на сучасному рівні, з використанням допоміжних функціональних модулів, для контролю роботи системи і отримати довершений функціональний прилад, який буде легкий у використанні, навіть для звичайного користувача. У першому розділі дано теоретичні відомості, приклад схожих існуючих систем ї їх аналіз. В другому розділі наведені і виведені розрахункові формули для визначення потоку, густини і тиску газу. В третьому розділі наведені основні теоретичні положення МЕМС-технології і приклад виготовлення терморезистивного перетворювача. В четвертому розділі показано реалізацію вже кінцевого функціонального приладу, який працює на основі PSoC.ukгазовий сенсорсенсор потокусенсор густинипрограмована системаPRoCPSoCаналого-цифровий перетворювачтермодетекторanalog-to-digital converterthermodetectordensity sensorflow sensorgas sensorprogrammable systemMaster Thesis80 с.621.391.82 (075)