Верцанова, Олена ВікторівнаХарчук, Артур Анатолійович2025-07-242025-07-242025Харчук, А. А. Електронна мікроскопія для дослідження нанорозмірних структур : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Харчук Артур Анатолійович. – Київ, 2025. – 43 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/75201Об’єкт дослідження – електронна мікроскопія як інструмент вивчення наноструктур. Предмет дослідження – нанорозмірні структури в мікро- та наноелектроніці. Мета роботи – проаналізувати основні методи електронної мікроскопії, зокрема СЕМ і ТЕМ, для дослідження наноструктур; вивчити їх переваги, застосування та порівняти з іншими методами аналізу; ознайомитись з реальними прикладами застосування в напівпровідниковій та епітаксійній технологіях. У роботі проведено системний аналіз сучасних методів дослідження наноматеріалів, окреслено роль електронної мікроскопії як одного з найбільш ефективних способів візуалізації структур на атомному рівні. Детально розглянуто принципи роботи, будову, режими візуалізації скануючої (SEM) та трансмісійної (TEM) електронної мікроскопії. Наведено приклади аналізу квантових точок, нанодротів, тонких плівок, а також підповерхневих дефектів у напівпровідникових матеріалах. Проаналізовано перспективні напрямки розвитку електронної мікроскопії, зокрема 3D-реконструкцію, машинне навчання та кріо-ЕМ.43 с.ukелектронна мікроскопіяскануюча електронна мікроскопіятрансмісійна електронна мікроскопіянаноструктураквантова точкананодрітGaNметоди аналізу наноматеріалівдефекти кристалуelectron microscopyscanning electron microscopytransmission electron microscopynanostructurequantum dotnanowiremethods of analysis of nanomaterialscrystal defectsBachelor Thesis