Верцанова, Олена ВікторівнаШумська, Ольга Ігорівна2024-06-272024-06-272024Шумська, О. І. Технологія мікроскопії із сфокусованим йонним пучком для тривимірних наноструктур : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шумська Ольга Ігорівна. – Київ, 2024. – 61 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67527Дипломна робота присвячена дослідженню виготовлення тривимірних наноструктур за допомогою мікроскопа зі сфокусованим йонним пучком. Актуальність вивчення мікроскопу зі сфокусованим йонним пучком визначається його широким спектром методів створення тривимірних наноструктур, які мають велике значення для розвитку підбору параметрів для створення бажаних тривимірних наноструктур. Метою даної роботи є розгляд методів виробництва тривимірних наноструктур, зокрема за допомогою мікроскопу із сфокусованим іонним пучком. Дослідження та оцінка методів виробництва за допомогою мікроскопу з іонним пучком. Дослідження методів моделювання тривимірних наноструктур створених за допомогою сфокусованого іонного пучка. В ході роботи було здійснено створення програми моделювання осадження на основі методу неперервного клітинного автомата, та перевірка основних елементів програми з допомогою значень спеціально підібраних, щоб наочно продемонструвати роботу таких елементів.61 с.ukBachelor Thesis