Макогон, Ю. М.Сидоренко, С. І.Павлова, О. П.Вербицька, Т. І.2020-09-302020-09-302009Твердотільні реакції в плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/ Ti(10 нм)/ SiO2(370 нм) на монокристалічному кремнії (001) / Ю. М. Макогон, С. І. Сидоренко, О. П. Павлова, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : міжнародний науково-технічний журнал. – 2009. – № 6(68). – С. 98–103. – Бібліогр.: 10 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/36483ukArticleС. 98–103