Якименко, Юрій ІвановичYakimenko, I. YuriЯкименко, Юрий Иванович2017-11-142017-11-1420110110U002462https://ela.kpi.ua/handle/123456789/21103ukплівки нітриду алюмініятопологія електродів коміркиРозроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п’єзоелектричними властивостями для організації функціональних МЕМС-структур у складі наноелектронних комірокDesign processing technique of reception focused films of nitride aluminium with piezoelectric properties for organization functional MEMS-structures in nanoelectronic meshesРазработка технологии получения ориентированных пленок нитрида алюминия с пьезоэлектрическими свойствами для организации функциональных МЭМС-структур в составе наноэлектронных ячеекTechnical Report4 с.