Коваль, Вікторія МихайлівнаСкиба, Іван Васильович2020-07-202020-07-202020Скиба, І. В. Синтез кремнієвих наноструктур методом метало-стимульованого хімічного травлення для фотовольтаїки та сенсорики : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Скиба Іван Васильович. – Київ, 2020. – 70 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35112Роботу викладено на 70 сторінках, вона містить 3 розділи, 28 ілюстрацій, 10 таблиць і 55 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є кремнієві нанонитки та структури на їх основі. Предмет роботи – дослідження морфологічних, електричних та фоточутливих характеристик синтезованих кремнієвих наноструктур та діодних сенсорах освітленості на їх основі. Мета роботи – розробка технології синтезу кремнієвих наноструктур на поверхні кремнієвої підкладки методом метало-стимульованого хімічного травлення (МСХТ) для застосування їх в діодних сенсорах освітленості. В першому розділі подано огляд літератури, в якому розглядається технологічні засади та реалізація методу МСХТ, вплив технологічних параметрів методу МСХТ на структурні особливості отримуваних кремнієвих наноструктур. В другому розділі роботи розглядається застосування методу МСХТ в електроніці, вплив технологічних параметрів методу на чутливість напіпровідникових сенсорів та на фотоелектричні характеристики сонячних елементів. В третьом розділі наводяться результати синтезу, дослідження поверхневої морфології, електричних та фоточутливих характеристик діодних сенсорів освітленості, отриманих на основі кремнієвих наноструктур, в залежності від технологічних параметрів методу МСХТ.ukкремнійметало-стимульоване хімічне травленнянанониткидіодний сенсор освітленостіsilicon nanowiresmetal-assisted chemical etchingdiode light sensorBachelor Thesis70 с.