Кузьмичєв, Анатолій ІвановичПисаренко, Леонід ДмитровичЦибульский, Леонід Юрійович2019-12-022019-12-022019-03Технологічні основи електроніки. Книга 1. Технологія виробництва мікросхем [Електронний ресурс] : навчальний посібник для студентів спеціальності 171 «Електроніка», спеціалізації «Електронні прилади та пристрої» / А. І. Кузьмичев, Л. Д. Писаренко, Л. Ю. Цибульский ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 3,74 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – 127 с. – Назва з екрана.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/30141ukмікросхемавиготовлення ІСоксид кремніюлітографіядифузійний процесіонна імплантаціяепітаксіятермовакуумне випаровуванняосадження тонких плівоктопологіятонкоплівкові мікросхемигібридна інтегральна мікросхема (ГІС)товстоплівкова мікросхемазондовий контрольскрайбуваннякорпусування чіпівBook127 с.