Іващук, Анатолій ВасильовичБезручко, Марко Валерійович2021-01-182021-01-182020Безручко, М. В. Сенсор на основі фотодіоду з InSb для середнього ІЧ діапазону : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Безручко Марко Валерійович. – Київ, 2020. – 84 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/38751ukфотодіодантимонід індіюіонна імплантаціяфоточутливий елементанодне окисненняпасивація поверхніInSbsurface passivationphotodiodeindium antimonideion implantationphotosensitive elementanode oxidationСенсор на основі фотодіоду з InSb для середнього ІЧ діапазонуMaster Thesis84 с.