Боровицький, Володимир МиколайовичСахнюк, Аліна Юріївна2024-06-272024-06-272024Сахнюк, А. Ю. Автоматизована комп'ютерно-інтегрована оптико-електронна літографічна система : дипломний проєкт ... бакалавра : 151 Автоматизація та комп’ютерно-інтегровані технології / Сахнюк Аліна Юріївна. – Київ, 2024. – 85 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67575Ця робота спрамована на поліпшення роботи комп’ютерно-інтегрованної оптико-електронної літогафічної системи нанесення фарби та опромінення її в малому діапазоні. Прилад дозволяє автоматизувати робочі процеси за допомогою сучасних технологій та забезпечити швидке, точне виконання необхідної роботи у доволі швидкий час. Досить багато уваги приділяється розробці приладу, який забезпечує компактність конструкції механізму та унікальності його роботи у відповідній сфері діяльності.85 с.ukлітографіяопроміненняBachelor Thesis