Денбновецький, С. В.Denbnovetskiy, Stanislav V.Денбновецький, С. В.2017-11-012017-11-0120110110U 002292https://ela.kpi.ua/handle/123456789/20926ukімпульсні електронні пучкивакуумімпульсне випаровуваннягазове середовищеДослідження розрядів низького тиску для розробки обладнання та технології імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження наноструктурованих покриттівInvestigation of low-pressure discharges for elaboration of equipment and technology for pulse electron-beam evaporation and ion-plasma deposition of nanostructurized coatingsИсследование разрядов низкого давления для разработки оборудования и технологи импульсного электронно-лучевого испарения и ионно-плазменного осаждения наноструктурных покрытийTechnical Report5 с.