Білокінь, Світлана Олександрівна2015-11-052015-11-052014https://ela.kpi.ua/handle/123456789/13696ukПідвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванніOther26 л.681.2:620.1 (043)