Цибульский, Леонід ЮрійовичХорольський, Євген Віталійович2023-06-132023-06-132021-06Хорольський, Є. В. Гіроскоп на базі МЕМС : магістерська дис. : 171 Електроніка / Хорольський Євген Віталійович. – Київ, 2021. – 89 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/57110Обсяг роботи складає 89 сторінок, кількість ілюстрацій – 42, таблиць – 26, джерел за переліком посилань – 39. Мета роботи полягала у встановлення конструктивних та технологічних напрямків розвитку гіроскопів МЕМС, комп’ютерне моделювання та дослідження динамічних характеристик важеля гіроскопу на підвісі. У роботі використовувалися типові методи дослідження: по-перше, науковий аналіз принципів дії гіроскопів МЕМС та їх конструкцій, методи мат-фізики та комп’ютерного моделювання та чисельного розрахунку параметрів гіроскопу та дослідження тривимірних моделей важелів консольного та гіроскопу з Г-підвісами на основі методів динаміки суцільних середовищ. Практичне значення одержаних результатів полягає в розроблені тривимірні моделі фізичних процесів у гіроскопі МЕМС з важелем на консольному підвісі, та важелем на Г-підвісах; встановлення залежності вигину важеля на консолі в електричному полі керуючого електрода; розрахована деформація важеля на консольному підвісі під дією обертання анкеру. Робота складається з 5 розділів. Зокрема, розглянуті гіроскопи мікроелектромеханічної системи (MEMС) (Розділ 1), механічні гіроскопи (розділ 2); оптичні гіроскопи (розділ 3), включаючи волоконно-оптичні гіроскопи (FOG), кільцеві лазерні гіроскопи (RLG) з зосередженням уваги на принципах роботи та різних удосконаленнях конструкцій з точки зору продуктивності. У розділі 4 виконано комп’ютерне моделювання та дослідження гіроскопу МЕМС з важелем на консольному підвісі і на Г-підвісі.89 с.ukгіроскопи МЕМСчутливий елементважіль на консолікомп’ютерна модель МЕМСмікротехнологіяMEMS gyroscopessensing elementconsole leverMEMS computer modelmicrotechnologyMaster Thesis621.382.2/3