Королевич, Любомир МиколайовичАбраімов, Олексій Валерійович2020-07-202020-07-202020Абраімов, О. В. Визначення основних електрофізичних параметрів структур метал-діелектрик-напівпровідник за вольт-фарадними характеристиками : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Абраімов Олексій Валерійович. – Київ, 2020. – 60 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35104Дипломна робота виконана на 60 сторінках, що містять 4 розділи, 28 ілюстрацій, 20 джерел посилань. Об’єктом дослідження є вольт-фарадні характеристики структури метал-діелектрик-напівпровідник. Предметом є порівняння результатів дослідження електрофізичних параметрів за ВФХ відомими методами. Метою роботи є порівняння відомих методів визначення електрофізичних параметрів МДН-структури. Перший розділ присвячений основним поняттям та процесам, що спостерігаються в МДН-структурі. Визначено поняття ідеальної МДН-структури, порогової напруги, напруги плоских зон. Проведено невелику характеристику high-k матеріалів. У другому розділі розглянута методика визначення параметрів структури за класичним методом та проведене їх експериментальне дослідження. У третьому розділі обґрунтовано вплив зарядових станів на ВФХ системи. Проведено аналіз зарядових станів, що виникають на напівпровіднику. Четвертий розділ присвячений проведенню експерименту для дослідження розподілу заряду на межі розподілу діелектрик-напівпровідник різними методами.ukМДН-структураВФХповерхневі станинапруга плоских зонрозподіл заряду на межі діелектрик-напівпровідникMIS structureCV characteristicssurface statesvoltage of planar zonescharge distribution at the insulator-semiconductor interfaceBachelor Thesis60 с.