Верцанова, Олена ВікторівнаМельник, Анастасія Богданівна2024-06-272024-06-272023Мельник, А. Б. Метод електронної мікроскопії для дослідження підповерхневих структур мікросхем типу 3D NAND : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Мельник Анастасія Богданівна. – Київ, 2023. – 87 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67538Детальний аналіз принципів роботи 3D NAND пам'яті, її геометрії, архітектури та масштабування, рівня поверхні, надійності та управління помилками дозволяє визначити фундаментальні особливості цієї технології. Розгляд архітектурних особливостей та можливих помилок в NAND Flash-пам'яті розширює наше розуміння функціональності цього типу пам'яті. Висвітлено важливість електронної мікроскопії як методу дослідження підповерхневих структур мікросхем типу 3D NAND. Проведено аналіз пристрою SNDM, CEM аналізу та трансмісійної електронної мікроскопії. Розглянуто принципи зображень та 3D реконструкції, а також визначено відмінності між скануючою трансмісійною електронною мікроскопією та іншими методами. Дослідження використовується для вдосконалення процесів виробництва та забезпечення якості мікросхем, а також для розробки нових технологій у сфері електроніки та комп'ютерних систем. Результати дослідження мають практичне значення для індустрії та можуть бути використані для вдосконалення якості та надійності електронних пристроїв на основі мікросхем типу 3D NAND.87 с.uk3D NANDелектронна мікроскопіяпідповерхневі структуриметоди дослідження електронних мікросхеммікросхеминанотехнологіїнаноархітектураelectron microscopysubsurface structuresmethods of electronic microchip investigationmicrochipsnanotechnologiesnanoarchitectureMaster Thesis