Антонюк, В. С.Храпатий, С. В.Білокінь, С. О.Андрієнко, В. О.Antonjuk, V.Hrapatij, S.Bilokin, S.Andrienko, V.2016-05-162016-05-162014Формування функціональних наноструктур на діелектричних поверхнях термічним випаровуванням у вакуумі / Антонюк В. С., Храпатий С. В., Білокінь С. О., Андрієнко В. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування : збірник наукових праць. – 2014. – № 1(70). – С. 31–35. – Бібліогр.: 9 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/15719ukнаноструктурафункціональне покриттядіелектрична поверхнятермовакуумне випаровуванняатомно-силова мікроскопіяnanostructurefunctional coveragedielectric surfacethermal and vacuum evaporationatomic-force microscopyфункциональное покрытиедиэлектрическая поверхностьтермовакуумное испарениеатомно-силовая микроскопияФормування функціональних наноструктур на діелектричних поверхнях термічним випаровуванням у вакууміForming of the functional nanostructures on dielectric surfaces by thermal evaporation in vacuumArticleС. 31-35537.9