Коваль, Вікторія МихайлівнаСачевнік, Вячеслав Леонідович2023-09-082023-09-082023Сачевнік, В. Л. Сенсори параметрів навколишнього середовища на основі кремнієвих нанониток : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Сачевнік Вячеслав Леонідович. – Київ, 2023. – 80 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/60087Роботу викладено на 80 сторінках, вона містить 3 розділи, 38 ілюстрацій, 10 таблиць і 23 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є кремнієві нанонитки (SiNWs) та прилади на їх основі. Предмет роботи – дослідження морфологічних, електричних та чутливих характеристик синтезованих SiNWs-структур в сенсорах температури, освітленості та вологості на їх основі. Мета роботи – розробка технології синтезу кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення для застосування їх в сенсорах навколишнього середовища (температури, освітленості та вологості). В першому розділі представлено огляд літератури, в якому розглядаються технологічні засади та реалізація різних методів синтезу кремнієвих нанониток в рамках підходів «знизу-вгору» та «зверху-вниз», вплив технологічних параметрів методу на структурні особливості отримуваних SiNWs-структур. В другому розділі розглядаються наукові досягнення в області сенсорів навколишнього середовища на основі SiNWs, їх характеристики та параметри. В третьому розділі подано результати синтезу, дослідження поверхневих структур, електричних та чутливих характеристик сенсорів температури, освітленості та вологості, отриманих на основі SiNWs, в залежності від технологічних параметрів методу MACE.80 с.ukкремнійметало-стимульоване хімічне травленнянанониткисенсор температурисенсор освітленостісенсор вологостіsiliconmetal-assisted chemical etchingnanowirestemperature sensorlight sensorhumidity sensorBachelor Thesis