Семенов, О. В.Любов, Д. В.2022-10-212022-10-212020Семенов, О. В. Високонадійні сенсори на основі плівок нанокристалічного SIC для моніторингу газового середовища / Семенов О. В., Любов Д. В. // Міжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи» : матеріали конференції, 16-22 листопада 2020 р., м. Київ, Україна / КПІ ім. Ігоря Сікорського, РТФ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 178-180.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/50497ukгазочутливі властивостіелектроопірнанокристалічний карбід кремніюгазові сенсориgas-sensitive propertieselectrical resistancenanocrystalline silicon carbidegas sensorsArticleС. 178-180