Мамчур, Я. Д.Iванова, В. В.Гураль, Т. I.Монастирський, Г. Є.2023-03-212023-03-212022Дослiдження топологiї поверхнi перiодичних металевих структур за допомогою iнтерферометрiї бiлого світла / Я. Д. Мамчур, В. В. Iванова, Т. I. Гураль, Г. Є. Монастирський // XIX Всеукраїнська науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Теоретичні і прикладні проблеми фізики, математики та інформатики» (Україна, м. Київ, 15 червня 2022 р.) : матеріали конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – С. 70-73. – Бібліогр.: 4 назви.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/53817Iнтерферометрiя бiлого свiтла є ефективним способом безконтактного визначення рельєфу поверхнi зразка. Завдяки поєднанню традицiйних методiв iнтерферометрiї та новiтнього програмного забезпечення з її допомогою можна отримати зображення з роздiльною здатнiстю до 1 ангстрема у висотi та десятих мiкрометра в горизонтальнiй площинi. Саме тому з використанням iнтерферометрiї бiлого свiтла був дослiджений профiль поверхнi металевих дифракцiйних ґраток. Були визначенi сталi ґраток, глибина штрихiв та загальна форма профiлю. Також було створено 3D зображення рельєфу зразкiв.ukiнтерферометрiя бiлого свiтлатопологiя поверхнiперiодичнi структуридифракцiйнi ґраткиArticleС. 70-73