Безвесільна, Олена МиколаївнаКозюков, Денис Сергійович2020-01-202020-01-202019-12Козюков, Д. Д. Дослідження ємнісного МЕМС чутливого елемента стабілізації : магістерська дис. : 152 Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка / Козюков Денис Сергійович. – Київ, 2019. – 92 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/30953ukємність чутливого елементалегка броньована технікаMaster Thesis92 с.