Верцанова, Олена ВікторівнаЛугова, Вероніка Олегівна2023-09-082023-09-082023Лугова, В. О. Метод електронної мікроскопії для дослідження підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Лугова Вероніка Олегівна. – Київ, 2023. – 51 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/60074Текстова частина дипломної роботи складає 51 сторінок, 21 рисунків та 30 літературних посилань. Об'єкт дослідження – метод електронної мікроскопії, за допомогою якого проводиться аналіз дефектів. Предмет дослідження – підповерхневі дефекти електронних компонентів та інтегральних схем. Мета роботи – вивчення можливостей застосування методу електронної мікроскопії для вияву і аналізу підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС, а також визначити типи та характеристики дефектів. Розглянути основні принципи цього методу, а також його використання. В роботі виконано огляд методів електронної мікроскопії, висвітлено їх переваги та недоліки у виявлення та аналізу підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС. Також наведений огляд підповерхневі дефекти і їх характеристики. Описано застосування методу скануючої електронної мікроскопії у поєднанні зі сфокусованим іонним пучком для виявлення підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІС.51 с.ukпідповерхневі дефекти електронних компонентів та інтегральних схемскануюча електронна мікроскопіясфокусований іонний пучокметоди виявлення підповерхневих дефектівsub-surface defects of electronic components and integrated circuitsscanning electron microscopyfocused ion beammethods of detecting sub-surface defectsМетод електронної мікроскопії для дослідження підповерхневих дефектів електронних компонентів та ІСBachelor Thesis