Сидоренко, Сергій БорисовичSydorenko, Sergii BorysovychСидоренко, Сергей Борисович2018-05-192018-05-192017Сидоренко С. Б. Отримання та дослідження конденсату Al-O з розвинутою поверхнею при реакційному іонному осадженні / Сидоренко С. Б. // Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал. – 2017. – Т. 22, № 3(98). – С. 6–11. – Бібліогр.: 7 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/22955ukконденсат Al – Oосадження алюмінію в середовищі киснюшорсткі і пористі покриттяпитома ємністьтермоіонне осадженняAl - O condensatethe deposition of aluminum in oxygen environmentroughspongy and porous coatingspecific capacitythermoionic depositionконденсат Al-Oосаждение алюминия в среде кислородашершавые и пористые покрытияудельная емкостьтермоионное осаждениеОтримання та дослідження конденсату Al-O з розвинутою поверхнею при реакційному іонному осадженніObtain and study of the Al-O condensate with the rough surface during reactive ion depositionПолучение и исследование конденсату Al-O с развитой поверхностью при реакционном ионном осажденииArticleС. 6-11http://doi.org/10.20535/2312-1807.2017.22.3.104582621.382, 621.793