Мариненко, Олександр Анатолійович2020-09-082020-09-082008Мариненко, О. А. Оптичні і пасивувальні властивості нітриду кремнію / О. А. Мариненко // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2008. – № 6(62). – С. 14–19. – Бібліогр.: 20 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/36031ukОптичні і пасивувальні властивості нітриду кремніюThe optical and passivating properties of silicon nitrideОптические и пассивирующие свойства нитрида кремнияArticleС. 14-19621.383