Макогон, Юрій МиколайовичСидоренко, Сергій ІвановичПавлова, Олена ПетрівнаВербицька, Тетяна Іванівна2020-08-262020-08-262008Фазоутворення у плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(100 нм)/SiO2(370нм) на монокристалічному кремнії орієнтації (001) / Ю. М. Макогон, С. І. Сидоренко, О. П. Павлова, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2008. – № 4(60). – С. 104–107. – Бібліогр.: 8 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35832ukФазоутворення у плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(100 нм)/SiO2(370нм) на монокристалічному кремнії орієнтації (001)The phase formation in Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(100 нм)/SiO2(370нм) film composition on the monocrystalline silicon (001)Фазообразование в пленочной композиции Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(100 нм)/SiO2(370нм) на монокристаллическом кремнии ориентации (001)ArticleС. 104-107539.216.2:661.685