Татарчук, Дмитро ДмитровичКоваль, Вікторія Михайлівна2019-06-242019-06-242019-05Моделювання технологій напівпровідникових матеріалів, приладів та інтегральних мікросхем-3. Курсова робота [Електронний ресурс] : навчальний посібник для здобувачів ступеня магістра, які навчаються за освітньою програмою «Мікро- та наноелектроніка» / Д. Д. Татарчук, В. М. Коваль ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 2,00 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – 90 с. – Назва з екрану.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/28033Навчальний посібникukМДН інверторінтегральна мікросхемаінтегральний логічний елементдифузіяіонна імплантаціятермічне оксиленняMethodical Material90 с.