Киршина, Ирина АнатольевнаОкин, Павел АлександровичФилонов, Олег Михайлович2018-10-142018-10-142014Киршина, И. А. Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов / И. А. Киршина, П. А. Окин, О. М. Филонов // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника. – 2014. – Т. 57, № 11 (629). – C. 51–56. – Библиогр.: 3 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/24812Полный текст доступен на сайте издания по подписке: http://radio.kpi.ua/article/view/S0021347014110065ruмикроэлектромеханические резонаторчувствительность колебательной системыдинамические характеристикимонокристаллический кремнийArticleС. 51-56https://doi.org/10.20535/S0021347014110065621.382(06)