Лендєл, В. В.Степахно, І. В.Яровой, Л. К2023-03-012023-03-012022Лендєл, В. В. Застосування трихвильової гетеродинної інтерферометрії для вимірювання товщини нанорозмірних шарів у процесі їх напилення / Лендєл В. В., Степахно І. В., Яровой Л. К. // Вісник КПІ. Серія Приладобудування : збірник наукових праць. – 2022. – Вип. 63(1). – С. 39-45. – Бібліогр.: 14 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/53227ukгетеродинна інтерферометріярефрактометріявимірювання товщини плівоксенсориheterodyne interferometryrefractometryfilm thickness measurementssensorsArticleС. 39-45535.417 +53.082.5+531.7