Осінов, Сергій Миколайович2022-06-142022-06-142022Матеріали і компоненти мікро- та наносистемної техніки. Лабораторний практикум [Електронний ресурс] : навч. посіб. для здобувачів ступеня бакалавра за освітньою програмою «Мікро- та наноелектроніка» спеціальності 153 «Мікро- та наносистемна техніка» / КПІ ім. Ігоря Сікорського ; уклад. С. М. Осінов. – Електронні текстові дані ( 1 файл: 2,24 Мбайт). – Київ : КПІ ім.Ігоря Сікорського, 2022. – 51 с. – Назва з екрана.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/47921ukмікроелектронікаMethodical Material51 с.0000-0003-0194-8236