Сидорко, В. И.Филатов, А. Ю.Филатов, Ю. Д.Поперенко, Л. В.Сідорко, В. І.Філатов, О. Ю.Філатов, Ю. Д.Поперенко, Л. В.Sidorko, V. I.Filatov, A. Y.Filatov, Y. D.Poperenko, L. V.2015-04-142015-04-142006Эллипсометрический контроль поверхностей деталей из неметаллических материалов / Сидорко В. И., Филатов А. Ю., Филатов Ю. Д., Поперенко Л. В. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2006. – Вип. 31. – С. 44–52. – Бібліогр.: 8 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/11373ruЭллипсометрический контроль поверхностей деталей из неметаллических материаловЕліпсометричний контроль поверхонь деталей з неметалевих матеріалівEllipsometric monitoring of surfaces of the nonmetallic materialsArticleС. 44-52621.923