Якименко, Юрій ІвановичЯрмоленко, Олександр Андрійович2023-07-262023-07-262023Ярмоленко, О. А. Структура та оптичні властивості плівок NiO : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Ярмоленко Олександр Андрійович. – Київ, 2023. – 71 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/58690Роботу викладено на 71 сторінці, вона містить 4 розділи, 36 ілюстрацій, 7 таблиць і 40 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є плівки оксиду нікелю. Предмет роботи – дослідження впливу параметрів вирощування плівок оксиду нікелю на їх характеристики. Мета роботи – дослідження впливу параметрів вирощування плівок оксиду нікелю на їх характеристики. В першому розділі подано огляд літератури, в якому наведена інформація про методи осадження плівок оксиду нікелю. Зосереджено увагу на методі магнетронного розпилення, його види та переваги використання. В другому розділі роботи представлено аналіз результатів досліджень впливу параметрів осадження на властивості плівок оксиду нікелю, наведені графіки залежностей та таблиці з даними. В третьому розділі описано технологію синтезу та методи дослідження зразків тонких плівок NiO. У четвертому розділі представлено аналіз результатів дослідження впливу параметрів вирощування (тиску кисню в камері осадження та потужності магнетрону) на структуру та оптичні властивості тонких плівок NiO. Проведено дослідження властивостей зразків методами рентгеноструктурного (XRD) та елементного (EDX) аналізів, атомно-силової мікроскопії (АСМ), досліджено спектри пропускання, розраховано оптичну ширину забороненої зони.71 с.ukNiOмагнетронне розпиленняструктураоптичне пропусканняmagnetron sputteringstructureoptical transmissionMaster Thesis