Кузьмичєв, А. І.Крижановський, В .І.Дяченко, С. М.2023-10-122023-10-122011Кузьмичєв, А. І. Особливості виникнення та розвитку імпульсного магнетронного розряду / Кузьмичєв А. І., Крижановський В .І., Дяченко С. М. // Электроника и связь : научно-технический журнал. Тематический выпуск «Электроника и нанотехнологии». – 2011. – №6(65). – С. 5-10. – Бібліогр.: 6 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/61332Проведено дослідження імпульсного магнетронного розряду. Встановлено фізична картина процесу його виникнення і розвитку, а також фактори, що впливають на нього. Виявлено дві фази розвитку розряду - повільна слабкострумова і швидка Потужнострумові. Визначено шляхи досягнення високої стабільності часових параметрів виникнення і формування розряду. Отримані результати дозволяють вибирати оптимальні режими ланцюга підготовчому розряду і імпульсів генератора, що забезпечують стабільну роботу електронних приладів і пристроїв на імпульсно магнетронном розряді.ukімпульсний магнетронний розрядвиникнення розрядувольтамперні характеристикипідготовчий розряднестабільністьArticlePp. 5-10https://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.6.240309621.31: 537.523.3