Євтушенко, Арсеній ІвановичЛисенко, Павло Ярославович2023-09-082023-09-082023Лисенко, П. Я. Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Y, осаджених методом високочастотного магнетронного розпилення : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Лисенко Павло Ярославович. – Київ, 2023. – 50 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/60082Роботу викладено на 50 сторінках, вона містить 3 розділи, 25 ілюстрацій, 6 таблиць та 23 джерел у переліку літератури. Об’єктом дослідження є тонкі плівки ZnO, леговані ітрієм. Предмет роботи – дослідження структури та оптичних властивостей тонких плівок ZnO в залежності від рівня легування ітрієм. Мета роботи – дослідити вплив легування ітрієм на структуру та оптичні властивості плівок ZnO, осаджених методом високочастотного магнетронного розпилення. В першому розділі представлено літературний огляд, де було розглянуто особливості та застосування матеріалу, наведено огляд робіт по легуванню ZnO ітрієм, та методи, за допомогою яких проводиться осадження тонких плівок. В другому розділі було описано як та за яких умов були виготовлені плівки, методи їх дослідження та методи для розрахунків властивостей. В третьому розділі було наведено результати досліджень властивостей вирощених плівок з різним рівнем легування, до яких увійшли: елементний аналіз, рентгенограми з їх аналізом та спектри пропускання. Встановлено, що ітрій входить в гратку ZnO.50 с.ukоксид цинкуоксид цинку легований ітріємвисокочастотне магнетронне розпиленнятонкі плівкиzinc oxideyttrium-doped zinc oxidehigh frequency magnetron sputteringthin filmsBachelor Thesis