Денбновецький, С. В.Мельник, В. Г.Мельник, І. В.Тугай, Б. А.2023-10-062023-10-062011Газорозрядний електронно-променевий випарник для осадження наноструктурованих покриттів / Денбновецький С. В., Мельник В. Г., Мельник І. В., Тугай Б. А. // Электроника и связь : научно-технический журнал. Тематический выпуск «Электроника и нанотехнологии». – 2011. – №3(62). – С. 64-67. – Бібліогр.: 4 назви.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/61005Розглянуто можливості використання електронних гармат високовольтного. тліючого розряду для нанесення покриттів складного хімічного складу у контрольованому газовому середовищі. Для іонізації потоку пара високої концентрації використовувався дуговий розряд, що запалюється над тиглем з металом, що випаровується. Для покращення адгезії напилюваних покриттів використовувалася іонна очищення підкладок. Отримано залежність струму допоміжного дугового розряду від потужності електронного пучка, досліджено мікроструктуру нанесених покриттів. Проведені дослідження показали високу ефективність використання електронних гармат високовольтного тліючого розряду при нанесенні наноструктурованих композитних покриттів.ukелектронно-променеве випаровуваннявисоковольтний розряд, що тлієкомпозитні покриттянаноструктуровані покриттяArticlePp. 64-67https://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.3.265029537.525