Заворотний, Віктор ФедоровичВасильєв, Андрій Олегович2018-05-212018-05-212018Васильєв, А. О. Метод прогнозування виходу придатних інтегральних мікросхем : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Васильєв Андрій Олегович. – Київ, 2018. – 93 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/22977Зменшення технологічного процесу, збільшення кількості транзисторів та металевих міжз'єднань в високоінтегрованих мікросхемах у відповідності з законом Мура призводить до збільшення кількості параметрів, які необхідно контролювати. Це в свою чергу призводить до генерації великої кількості вимірюваних даних, обробка і аналіз яких є ключем до оптимізації і контролю технологічного процесу. Контроль виходу придатних є надзвичайно важливою частиною мікроелектронної технології, оскільки від цього залежить як прямий економічний зиск від виробництва продукту, так і інші важливі економічні показники, такі як час для виходу на ринок та час валідації. Предметом дослідження даної роботи є розробка спеціального програмного забезпечення для автоматичного моніторингу стану процесу в реальному часі. В роботі описано можливості типового промислового обладнання для проведення тестування мікросхем та їх використання.ukтестування мікросхемавтоматичне тестувальне обладнаннястатистичний аналізvlsi testingautomatic test equipmenttime dependent defectbig dataMaster Thesis93 c.