Верцанова, Олена ВікторівнаКуліков, Борис Олегович2023-09-082023-09-082023Куліков, Б. О. Електронна мікроскопія напівпровідникових структур : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Куліков Борис Олегович. – Київ, 2023. – 52 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/60095Об'єкт дослідження – електронна мікроскопія в якості дослідження напівпровідникових структур. Предмет дослідження – напівпровідникові структури. Мета роботи – отримати розуміння ринкового значення напівпровідників, методів дослідження та застосування електронної мікроскопії для аналізу напівпровідникових структур, а також ознайомитись з актуальними дослідженнями та публікаціями у цій галузі. В роботі було проведено аналіз методів дослідження напівпровідникових матеріалів, визначено місце електронної мікроскопії серед інших методів дослідження, визначено принцип дослідження напівпровідників методом електронної мікроскопії, описано склад скануючого електронного мікроскопа, розглянуто застосування різноманітних методів дослідження структур напівпровідників методом електронної мікроскопії та описано їх можливості. Текстова частина дипломної роботи складає 52 сторінки, 16 рисунків та 28 літературні джерела.52 с.ukелектронна мікроскопіяскануюча електронна мікроскопіятрансмісійна електронна мікроскопіянапівпровідникнапівпровідникова структураметоди дослідження напівпровідників методом електронної мікроскопіїдослідження напівпровідникових структур через електронну мікроскопіюelectron microscopyscanning electron microscopytransmission electron microscopysemiconductorsemiconductor structuremethods of studying semiconductors by electron microscopystudy of semiconductor structures by electron microscopyBachelor Thesis