Младенов, Георги МихайловСпивак, Виктор МихайловичКолева, Елена ГеоргиеваБогдан, Александр Владимирович2017-11-152017-11-152010Наноэлектроника. В 2 кн. Кн. 1. Введение в наноэлектронные технологии [Электронний ресурс] : монография / Г. М. Младенов, В. М. Спивак, Е. Г. Колева, А. В. Богдан. – Электронные текстовые данные (1 файл: 11,85 Мбайт). – Киев - София : Освіта України, 2010. – 331 с. – Заглавие с экрана.966-8934-25-3 (кн.1)966-8934-17-2https://ela.kpi.ua/handle/123456789/21147ruнаноэлектронные технологиинаноструктурыионная имплантацияионная литографияпористый кремнийнаноэлектронные устройстваBook331 с.621.3.049.77