Денбновецький, С. В.2014-08-192014-08-192013Розробка та дослідження газорозрядного обладнання для імпульсного електкронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження наноструктурованих покриттів : звіт про НДР (заключ.) НТУУ "КПІ" ; кер. роб. С. В. Денбновецький. К., 2013. - 136 л. + CD-ROM. - Д/б №2529-п0110U002292https://ela.kpi.ua/handle/123456789/8413Звіт з НДР: 136 с., 40 рис., 63 посилання. Об’єкт дослідження – технологічне обладнання для іонно-плазмового осадження композитних покриттів методом імпульсного електронно-променевого випаровування з іонізацією парогазового потоку. Мета роботи – розробка газорозрядного електронно-променевого обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження покриттів в контрольованому за складом та тиском газовому середовищі. Методи дослідження – теоретичний аналіз, моделювання, експериментальні дослідження. Проведено аналіз властивостей високовольтного тліючого та вакуумно-дугового розрядів та визначено особливості розробки на основі пристроїв цих розрядів технологічного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження покриттів в контрольованому за тиском та складом газовому середовищі. З урахуванням розглянутих особливостей технологічного процесу імпульсного іонно-плазмового осадження покриттів розоблено газорозрядний електронно-променевий комплекс, до складу якого входить газорозрядна електронна гармата тріодного типу потужністю 10 кВт, вакуумно-дуговий іонізатор пари та система автоматичного керування енергетичними та часовими параметрами газорозрядної гармати в ім¬пульсному режимі роботи. Для розробки тріодної газорозрядної гармати були створені фізико-математичні моделі розподілу енергії у розрядному проміжку та електронно-оптичної системи тріодного типу. Проведені розрахунки енергетичних та електронно-оптичних параметрів гармати та оптимізація геометрії електродів. Розроблена модель електромагнітної системи транспортування імпульсного електронного пучка із розрядного проміжку гармати в зону випаровування. З використанням розробленої моделі розраховані фокальні параметри електронного пучка на поверхні матеріалу, що випаровується. Розробку пристрою на основі вакуумно-дугового розряду здійснено з урахуванням результатів математичного моделювання іонізатора в кінетичному наближенні. В процесі розробки системи автоматичного керування параметрами газорозрядної гармати в імпульсному режимі поведено комп’ютерне моделювання малоінерційного електричного регулювання струму розряду за допомогою низьковольтних допоміжних розрядів. Проведено експериментальне дослідження роботи розроблених пристроїв в тех¬нологічних процесах імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження покриттів. Розроблений газорозрядний комплекс забезпечує можливість імпульсного іонно-плазмового осадження покриттів в діапазоні параметрів, які відповідають вимогам технології осадження покриттів методом імпульсного електронно-променевого випаровування (питома потужність пучка 105 – 106 Вт/см2, тривалість імпульсів стру¬му 1 – 100 мс, частота слідування імпульсів 1 – 50 Гц). При цьому забезпечується висока швидкість випаровування із збереженням стехіометрії конденсату та можливість осадження покриттів в широкому діапазоні тиску та складу газового середовища.ukЗвіт захищений авторським правом. Переглянути його можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.газовий розрядімпульсний режимелектронний пучокмоделюванняіонізаціявипаровуванняосадження покриттяобладнанняTechnical Report136 л.537.525:621.325