Лакоза, Сергій ЛеонідовичМенько, Михайло Іванович2021-07-082021-07-082021-06Менько, М. І. Мікроакселерометр : дипломний проект … бакалавра : 151 Автоматизація та комп’ютерно-інтегровані технології / Менько Михайло Іванович. - Київ, 2021. - 53 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/42231У ході даного дипломного проекту було зроблено огляд мікромеханічних акселерометрів LL-типу, розглянуто теоретичні відомості, конструкцію, прин-цип побудови та роботи мікроакселерометрів. Розглянуто матеріали, з яких мо-жуть бути виготовлені ММА, а також технології виготовлення датчиків. Приведено загальне рівняння руху осьового ММА. Промодельовано базові режими роботи та отримано графіки в програмному середовищі Matlab/Simulink. Здійснено вибір головних конструктивних параметрів ММА. Розраховано та підібрано підвіс, параметри чутливого елементу.ukмікромеханічний акселерометрчутливий елементконструкціяпринцип роботи та приклади ММАрівняння рухуосновні режими роботи ММАмоделювання математичної моделі.micromechanical accelerometersensitive elementstructureoperation principle and examples of MMAequation of motionmain modes of MMA operationmodeling of mathematical modelМікроакселерометрBachelor Thesis53 с.