Стешенко, Я. В.2020-07-222020-07-222020Стешенко, Я. В. Моделювання МЕМС датчиків в COMSOL Multiphysics / Я. В. Стешенко // ХIII Науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Погляд у майбутнє приладобудування», 13-14 травня 2020 р., м. Київ, Україна : збірник праць конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 319-322. – Бібліогр.: 4 назви.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35247ukМЕМСмоделюваннядатчикиCOMSOL MultiphysicsArticleС. 319-322681.586