Євтушенко, Арсеній ІвановичШакун, Денис Олександрович2023-09-082023-09-082023Шакун, Д. О. Фотолюмінесценція та раманівське розсіювання плівок ZnO:Al,N : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шакун Денис Олександрович. – Київ, 2023. – 49 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/60089Роботу викладено на 49 сторінках, вона містить 2 розділи, 14 рисунків, 3 таблиці та 34 джерела у переліку посилань. Об’єктом дослідження є леговані алюмінієм та азотом тонкі плівки ZnO. Предмет роботи - фотолюмінесценція та раманівське розсіювання плівок ZnO:Al,N. Мета роботи – дослідити фотолюмінесценцію та раманівське розсіювання плівок ZnO:Al,N для аналізу дефектів, які генеруються в плівці оксиду цинку при подвійному легуванні азотом та алюмінієм. У першому розділі роботи було здійснено літературний огляд, в якому розглянуто особливості та різноманітність застосування тонких плівок ZnO для різноманітних практичних застосувань. Також було проведено порівняння властивостей легованих азотом (ZnO:N) та алюмінієм (ZnO:Al) плівок оксиду цинку. В огляді зосереджено увагу на таких методах дослідження як рентгенівська дифракція, фотолюмінесценція та раманівське розсіювання, що дозволяють вивчати структуру та оптичні властивості матеріалу. В другому розділі було описано магнетронну технологію осадження плівок ZnO:Al,N, описано методи їх дослідження та представлені результати досліджень властивостей отриманих плівок. Зокрема, було проведено аналіз елементного розподілу в матеріалі, вивчено його фотолюмінесценцію та раманівське розсіювання, проаналізовано типи дефектів. Ці дослідження дозволили отримати необхідну інформацію про структуру та оптичні властивості плівок, яка є важливою для подальшого використання цих матеріалів у різних технологічних застосуваннях.49 с.ukоксид цинкуоксид цинку легований алюмінієм та азотомфотолюмінесценціяраманівське розсіюванняВЧ магнетронне розпиленняzinc oxidezinc oxide alloyed with aluminum and nitrogenphotoluminescenceRaman scatteringradio frequency magnetron sputteringBachelor Thesis