Решетняк, Сергій ОлександровичШвачко, Єгор Олександрович2024-12-242024-12-242024Швачко, Є. О. Аналітичне та чисельне дослідження мікроелектромеханічної системи (МЕМС) на основі моделі осесиметричних коливань круглої пружної поверхні за довільних крайових умов : магістерська дис. : 104 Фізика та астрономія / Швачко Єгор Олександрович. – Київ, 2024. – 96 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/71297Отримані результати для простої моделі вимушених коливань круглої мембрани з пружним закріпленням по периметру та його графічна інтерпретація можуть бути корисними для розробників МЕМС при проектування МЕМС-пристроїв. Виявлення основних та вищих резонансних частот мембрани є важливим для її інтеграції в акустичні випромінювачі, сенсори та інші МЕМС-пристрої, де критично важливо точно контролювати динамічні параметри. Результати показали, що зростання частоти викликає зниження амплітуди коливань, що вказує на ефект частотного демпфування. Це відкриває можливість створення нових пристроїв із оптимізованим частотним демпфуванням для застосувань, де мембрани слугують не лише випромінювачами звуку, але й елементами амортизації або демпфування.96 с.ukвимушені гармонічні коливаннякругла мембранапружне кріпленнямікроелектромеханічні системиForced harmonic vibrationscircular membraneelastic supportmicroelectromechanical systemsMaster Thesis534.1