Орлов, Анатолій ТимофійовичДудка, Михайло Юрійович2018-05-212018-05-212018Дудка, М. Ю. Сенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМС : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Дудка Михайло Юрійович. – Київ, 2018. – 80 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/22966ruсенсор газового потокаМЭМСтеплопроводностьтеплоёмкостьдатчик потоку газуМЕМСтеплопровідністьтеплоємністьgas flow sensorMEMSthermal conductivityheat capacityСенсор теплофізичних параметрів газового середовища за технологією МЕМСMaster Thesis80 с.