Борисов, Олександр ВасильовичШмаровоз, Сергій Володимирович2021-07-082021-07-082021Шмаровоз, С. В. Мікромеханічний векторний акустичний сенсор низькочастотного діапазону : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шмаровоз Сергій Володимирович. – Київ, 2021. – 66 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/42266ukBachelor Thesis66 с.